다이어프램 밸브는 구조가 간단하고 밸브 몸체 및 트림의 금속부를 유체와 완전히 격리할 수 있어 부식성 액체를 취급하는 화학공장에 널리 쓰이는 특수 밸브입니다.
또한 다양한 타입의 다이어프램 액츄에이터 장착을 통해 밸브의 내부를 초청정상태(Ultra high purity)로 유지할 수 있어 반도체, 제약회사 등의 고순도 유체 관리가 필요한 산업에 핵심적으로 사용되는 밸브입니다.
사이즈 | 1.4" | 3/8", 1/2" | 3/4" |
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Cv 밸브 | 0.3 | 0.7 | 0.7 |
홀 사이즈 | 4.5 | 7.0 | 7.0 |
최대내압 | 10bar (145psig) | ||
최대내열 | -10~80℃ (-23~176℉) | ||
액츄에이터 압력 | 4~7bar (58~101psig) | ||
내부유출 대상 : 헬륨 시험시간 : 30초 이상 |
≤1x10-9atm.cc/s | ||
외부유출 대상 : 헬륨 시험시간 : 1분 이상 |
≤1x10-9atm.cc/s | ||
입자검사 (EP) 압력 : 60~80 psi N2 Gas 샘플 볼륨 : 1CFM 0.1㎛이상 |
측정되지 않음 |